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정택모 교수

CHUNG TAEK-MO

INFO

  • 소속캠퍼스한국화학연구원 스쿨
  • 전공 화학소재 및 공정
    (화학융합소재)
  • 연락처042 860 7359
  • 출신전공유기금속화학
  • 학위박사
  • 최종출신대학서울대학교
  • 이메일

연구분야

정보전자산업용 금속 전구체 개발, 유기금속화합물 합성 및 응용, 무기화합물 합성 및 응용

Development of metal precursors for IT, ET industry / Synthesis and application of organometallic complexes / Synthesis and application of inorganic compounds

대표연구실적

-  정택모 외 / Atomic Layer Deposition of Ruthenium and Ruthenium Oxide Thin Films from a Zero-valent (1,5-hexadiene)(1-isopropyl-4-methylbenzene)ruthenium Complex and O2/ Chem. Mater. / 2014. 12. 2. -  정택모 외 / Improved Initial Growth Behavior of SrO and SrTiO3 Films Grown by Atomic Layer Deposition using {Sr(demamp)(tmhd)}2 as Sr-precursor / Chem. Mater. / 2015. 5. 15. -  정택모 외 / Heteroleptic strontium complexes stabilized by donor-functionalized alkoxides and β-diketonate ligands /Dalton Transactions / 2015. 8. 21.

논문(최근 5년)

-  Application of Soft Lithography to Metal-Induced Lateral Crystallization of Amorphous Si Thin Films Involving Self-Assembly Monolayers and Atomic Layer Deposition[Journal of Nanoscience and Nanotechnology,2014-08-01] -  Trimethylsilylcyclopentadienyl tris(dimethylamino)zirconium as a single-source metal precursor for the atomic layer deposition of ZrxSi1-xO4[Thin Solid Films,2014-08-01] -  SnO2 thin films grown by atomic layer deposition using a novel Sn precursor[Applied Surface Science,2014-11-01] -  Heteroleptic Group 2 Metal Precursors for Metal Oxide Thin Films[European Journal of Inorganic Chemistry,2014-04-01] -  Synthesis of new heteroleptic strontium complexes[Dalton Transactions,2014-09-01] -  Growth of p-type Tin(II) Monoxide Thin Films by Atomic Layer Deposition from Bis(1-dimethylamino-2-methyl-2-propoxy)tin and H2O[Chemistry of Materials,2014-10-21] -  Atomic Layer Deposition of Ruthenium and Ruthenium Oxide Thin Films from a Zero-valent (15-hexadiene)(1-isopropyl-4-methylbenzene)ruthenium Complex and O2[Chemistry of Materials,2014-12-02] -  Highly Conformal Amorphous W-Si-N Thin Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition as a Diffusion Barrier for Cu Metallization[The Journal of Physical Chemistry C,2015-01-09] -  New heteroleptic magnesium complexes for MgO thin film application[Dalton Transactions,2015-02-07] -  Improved Initial Growth Behavior of SrO and SrTiO3 Films Grown by Atomic Layer Deposition using {Sr(demamp)(tmhd)}2 as Sr-precursor[Chemistry of Materials,2015-05-15] -  Syntheses of pure GeTe crystals from single source precursors (R2GeTe)3 (R=Et Bu)[Materials Letters,2015-10-01] -  Heteroleptic strontium complexes stabilized by donor-functionalized alkoxides and β-diketonate ligands[Dalton Transactions,2015-08-21] -  A Surface Chemical Reaction in Organic?Inorganic Materials Using a New Chemical Evaporation System[Chemistry of Materials,2015-06-02] -  Hexa-coordinated Strontium Silylamide Complex Stabilized by Tetradentate Alkoxy Ligand[Bulletin of the Korean Chemical Society,2015-10-07] -  Growth of amorphous zinc tin oxide ?lms using plasma-enhanced atomic layer deposition from bis(1-dimethylamino-2-methyl-2propoxy)tin, diethylzinc, and oxygen plasma[APPLIED SURFACE SCIENCE,2015-12-01] -  Synthesis of new heteroleptic strontium complexes stabilized by b-ketoiminato ligands[INORGANICA CHIMICA ACTA,2015-09-01] -  Synthesis and characterization of Mo and W compounds containing aminothiolate ligand for disul?de materials[POLYHEDRON,2015-11-04] -  Heteroleptic magnesium complexes containing amidinate and aminoalkoxy ligands[POLYHEDRON,2015-11-24] -  Low-Temperature Growth of Indium Oxide Thin Film by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Using Liquid Dimethyl(N?ethoxy-2,2-dimethylpropanamido)indium for High-Mobility Thin Film Transistor Application[ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES,2016-09-27] -  Growth of tantalum nitride ?lm as a Cu diffusion barrier by plasma-enhanced atomic layer deposition from bis((2-(dimethylamino)ethyl)(methyl)amido)methyl(tert-butylimido) tantalum complex[APPLIED SURFACE SCIENCE,2016-01-30] -  Atomic layer deposition of indium oxide thin ?lm from a liquid indium complex containing 1-dimethylamino-2-methyl-2-propoxy ligands[APPLIED SURFACE SCIENCE,2016-10-15] -  Synthesis of Mono-Imido Tungsten Complexes Directly from WCl 6[CHEMISTRYSELECT,2016-01-20] -  N-Alkoxy Carboxamide Stabilized Tin(II) and Germanium(II) Complexes for Thin-Film Applications[EUROPEAN JOURNAL OF INORGANIC CHEMISTRY,2016-09-29] -  Synthesis of novel tin complexes using functionalized oxime ligands[INORGANICA CHIMICA ACTA,2016-05-01] -  Trinuclear magnesium complexes stabilized by aminoalkoxide ligands[JOURNAL OF COORDINATION CHEMISTRY,2016-08-02] -  Highly-conformal nanocrystalline molybdenum nitride thin ?lms by atomic layer deposition as a diffusion barrier against Cu[JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS,2016-04-05] -  Thermal atomic layer deposition of In2O3 thin ?lms using dimethyl(N-ethoxy-2,2-dimethylcarboxylicpropanamide)indium and H2O[APPLIED SURFACE SCIENCE,2017-10-15] -  Synthesis of SnS Thin Films by Atomic Layer Deposition at Low Temperatures[CHEMISTRY OF MATERIALS,2017-09-13] -  Germanium Compounds Containing Ge?E Double Bonds (E = S, Se, Te) as Single-Source Precursors for Germanium Chalcogenide Materials[INORGANIC CHEMISTRY,2017-03-22] -  Fabrication of high-performance p-type thin film transistors using atomic-layer-deposited SnO films[JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY C,2017-02-27] -  Indium complexes bearing donor-functionalized alkoxide ligands as precursors for indium oxide thin ?lms[JOURNAL OF ORGANOMETALLIC CHEMISTRY,2017-03-15] -  Ruthenocene Precursors for Ruthenium-Containing Thin-Film Deposition: An Example of Solvent Nucleophilic Attack on Fulvene[ORGANOMETALLICS,2017-07-26] -  Growth of Cu2S thin ?lms by atomic layer deposition using Cu(dmamb)2 and H2S[APPLIED SURFACE SCIENCE,2018-07-02] -  Synthesis of Indium Complexes for Thin Film Transistor Applications Bearing N-Alkoxy Carboxamide Ligands[CHEMISTRYSELECT,2018-06-20] -  Synthesis and Structure of Novel Tin Complexes Containing Aminoalkoxide Ligands[CHEMISTRYSELECT,2018-07-18] -  Initial reactions of ultrathin HfO2 films by in situ atomic layer deposition:[JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A,2018-02-13] -  Low-temperature wafer-scale synthesis of two-dimensional SnS2[NANOSCALE,2018-08-22] -  Band gap engineering of atomic layer deposited ZnxSn1­xO buffer for efficient Cu(In,Ga)Se2 solar cell[Progress in Photovoltaics: Research and Applications,2018-04-15]

특허(최근 5년)

-  텅스텐 화합물 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-03-17] -  몰리브데넘 화합물 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-03-17] -  황화 니켈 박막의 제조 방법[2015-05-14] -  아미노싸이올레이트를 이용한 주석 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-03-10] -  아미노싸이올레이트를 이용한 갈륨 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-06-12] -  아미노싸이올레이트를 이용한 갈륨 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-06-12] -  아미노싸이올레이트를 이용한 인듐 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-06-12] -  아미노싸이올레이트를 이용한 인듐 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-06-12] -  아미노싸이올레이트를 이용한 납 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-03-10] -  아미노싸이올레이트를 이용한 몰리브데넘 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-01-16] -  아미노싸이올레이트를 이용한 몰리브데넘 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-01-16] -  아미노싸이올레이트를 이용한 텅스텐 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-01-16] -  아미노싸이올레이트를 이용한 텅스텐 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-01-16] -  오일분산계 촉매용 이종금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 중질유의 수첨분해 방법[2018-01-04] -  직접적인 온도 측정수단을 구비한 단결정 성장 장치 및 이를 이용한 단결정 성장 방법[2017-06-01] -  인듐 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2017-05-25] -  주석 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2017-11-13] -  전이금속 함유 전구체, 이의 제조방법 및 이의 용도[2017-08-11] -  신규한 기밀구조를 가지는 단결정 성장용 압력용기[2017-06-01] -  신규한 인듐 전구체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 박막[2016-06-07] -  란탄족 금속 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2017-06-29] -  p형 주석 산화물 박막 제조 및 제어 방법과 이를 이용한 트랜지스터 제조 방법[2016-04-04] -  루테늄 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2016-06-29] -  4족 전이금속 전구체, 이의 제조 방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-11-20] -  안티몬-텔루륨 단일 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-11-04] -  루테늄 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-11-03]

연구과제 수행 실적

IT·ET 융복합 산업 유기금속화합물 및 소자화 공정 개발 벤조퓨란 유도체 합성법 기술 지원 차세대 디스플레이용 산화가제어 유기금속 전구체 설계 및 개발