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박보근 교수

Bo Keun Park

INFO

  • 소속캠퍼스한국화학연구원 스쿨
  • 전공 화학소재 및 공정
    (화학융합소재)
  • 연락처042-860-7358
  • 출신전공무기화학
  • 학위박사
  • 최종출신대학한국과학기술원
  • 이메일

연구분야

무기화학

Inorganic Chemistry

대표연구실적

-  Bo Keun Park, Hyo-Suk Kim, Su Jung Shin, Jae Ki Min, Kang Mun Lee, Youngkyu Do, Chang Gyoun Kim, and Taek-Mo Chung/Synthesis and Characterization of Novel Volatile Imido-Aminoalkoxide Tantalum Compounds/Organometallics/20121210 -  Jeong Hwan Han, Yoon Jang Chung, Bo Keun Park, Seong Keun Kim, Hyo-Suk Kim, Chang Gyoun Kim, Taek-Mo Chung/Growth of p-type Tin(II) Monoxide Thin Films by Atomic Layer Deposition from Bis(1-dimethylamino-2-methyl-2propoxy)tin and H2O/Chemistry of Matererials/20141111 -  박보근, 김창균, 정택모, 전동주, 여소정, 이영국/몰리브데넘 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법/10-1306810/20130904

논문(최근 5년)

-  Heteroleptic Group 2 Metal Precursors for Metal Oxide Thin Films[Eur. J. Inorg. Chem.,2014-06-01] -  Synthesis Characterization and Electrochemical Study of Os3(CO)7(12-dppm)(μ3-η2:η2:η2-C60) and Os3(CO)7(11-dppm)(μ3-η2:η2:η2-C60)[J. Organomet. Chem.,2014-08-01] -  Synthesis of new heteroleptic strontium complexes[Dalton Trans.,2014-10-14] -  Growth of p-type Tin(II) Monoxide Thin Films by Atomic Layer Deposition from Bis(1-dimethylamino-2-methyl-2-propoxy)tin and H2O[Chem. Mater.,2014-11-11] -  Synthesis and Characterization of Fullerene-Metal Compound with Long Alkyl Chain for Liquid Crystals Supramolecules and Optoelectronic Materials[Mol. Cryst. Liq. Cryst.,2014-11-26] -  Atomic Layer Deposition of Ruthenium and Ruthenium Oxide Thin Films from a Zero-valent (15-hexadiene)(1-isopropyl-4-methylbenzene)ruthenium Complex and O2[Chem. Mater.,2014-12-23] -  Highly Conformal Amorphous W?Si?N Thin Films by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition as a Diffusion Barrier for Cu Metallization[J. Phys. Chem. C,2015-01-22] -  New heteroleptic magnesium complexes for MgO thin film application[Dalton Trans.,2015-02-07] -  Improved Initial Growth Behavior of SrO and SrTiO3 Films Grown by Atomic Layer Deposition using {Sr(demamp)(tmhd)}2 as Sr-precursor[Chem. Mater.,2015-06-09] -  Heteroleptic strontium complexes stabilized by donor-functionalized alkoxide and β-diketonate ligands[Dalton Trans.,2015-08-21] -  Synthesis of new heteroleptic strontium complexes stabilized by β-ketoiminato ligands[Inorg. Chim. Acta,2015-09-01] -  Synthesis and Characterization of Mo and W Compounds Containing Aminothiolate Ligand for Disulfide Materials[Polyhedron,2015-11-04] -  Heteroleptic Magnesium Complexes Containing Amidinate and Aminoalkoxy Ligands[Polyhedron,2015-11-24] -  Hexa-coordinated Strontium Silylamide Complex Stabilized by Tetradentate Alkoxy Ligand[ BULLETIN OF THE KOREAN CHEMICAL SOCIETY,2015-11-20] -  Growth of Tantalum Nitride Film as a Cu Diffusion Barrier by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition from Bis((2-(dimethylamino)ethyl)(methyl)amido) methyl(tert-butylimido)tantalum Complex[ APPLIED SURFACE SCIENCE,2016-01-30] -  Synthesis of Mono-Imido Tungsten Complexes Directly from WCl6[ CHEMISTRYSELECT,2016-01-30] -  Highly-conformal nanocrystalline molybdenum nitride thin films by atomic layer deposition as a diffusion barrier against Cu[ JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS,2016-04-05] -  Synthesis of novel tin complexes using functionalized oxime ligands[ INORGANICA CHIMICA ACTA,2016-05-01] -  Atomic layer deposition of indium oxide thin film from a liquid indium complex containing 1-dimethylamino-2-methyl-2-propoxy ligands[APPLIED SURFACE SCIENCE,2016-10-12] -  Trinuclear magnesium complexes stabilized by aminoalkoxide ligands[ JOURNAL OF COORDINATION CHEMISTRY,2016-08-02] -  Low-Temperature Growth of Indium Oxide Thin Film by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition using Liquid Dimethyl(N-ethoxy-2,2-dimethylpropanamido)indium for High-Mobility Thin Film Transistor Application[ ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES,2016-10-12] -  Synthesis and Characterization of Triosmium-Bis[60]Fullerene and Bis(Metal Cluster)[60]Fullerene Compounds[MOLECULAR CRYSTALS AND LIQUID CRYSTALS,2016-11-01]

특허(최근 5년)

-  아미노싸이올레이트를 이용한 안티몬 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2014-03-27] -  스트론튬 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2014-05-20] -  벤조포르피린 유도체의 신규한 제조방법 및 이를 이용한 유기박막트랜지스터의 제조[2014-05-28] -  루테늄 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2014-12-03] -  게르마늄 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2014-12-08] -  아미노싸이올레이트를 이용한 게르마늄 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2014-12-08] -  아미노싸이올레이트를 이용한 텅스텐 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-01-16] -  아미노싸이올레이트를 이용한 텅스텐 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-01-16] -  아미노싸이올레이트를 이용한 몰리브데넘 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-01-16] -  아미노싸이올레이트를 이용한 몰리브데넘 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-01-16] -  아미노싸이올레이트를 이용한 납 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-03-10] -  아미노싸이올레이트를 이용한 주석 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-03-10] -  몰리브데넘 화합물 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-03-17] -  텅스텐 화합물 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-03-17] -  황화 니켈 박막의 제조 방법[2015-05-14] -  아미노싸이올레이트를 이용한 인듐 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-06-12] -  아미노싸이올레이트를 이용한 인듐 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-06-12] -  아미노싸이올레이트를 이용한 갈륨 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-06-12] -  아미노싸이올레이트를 이용한 갈륨 전구체 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-06-12] -  분산성이 뛰어난 그래핀 화합물 제조방법 및 이로부터 제조된 그래핀 화합물[2014-03-11] -  유기-무기 하이브리드 박막 증착 장치 및 이를 이용한 유기-무기 하이브리드 박막 제조 방법[2015-03-18] -  루테늄 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-11-03] -  안티몬-텔루륨 단일 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-11-04] -  4족 전이금속 전구체, 이의 제조 방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2015-11-20] -  p형 주석 산화물 박막 제조 및 제어 방법과 이를 이용한 트랜지스터 제조 방법[2016-04-04] -  신규한 인듐 전구체, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 박막[2016-06-07] -  란탄족 금속 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2016-06-29] -  루테늄 화합물, 이의 제조 방법 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2016-06-29] -  복합 페로브스카이트계 소재 및 이를 포함하는 반도체 소자[2016-08-29] -  인듐 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2017-05-25] -  전이금속 함유 전구체, 이의 제조방법 및 이의 용도[2017-08-11] -  주석 전구체, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법[2017-11-13] -  STRONTIUM PRECURSOR, METHOD FOR PREPARING SAME, AND METHOD FOR FORMING THIN FILM BY USING SAME[2017-10-17] -  오일분산계 촉매용 이종금속 전구체, 이의 제조방법 및 이를 이용한 중질유의 수첨분해 방법[2018-01-04]

연구과제 수행 실적

High-k/metal gate 공정용 박막내 carbon/halogen-free precursor 및 공정부품 개발