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윤주영 교수

Yun Ju Young

INFO

  • 소속캠퍼스한국표준과학연구원
  • 전공 나노-정보 융합
    (나노재료공학)
  • 연락처042-868-5624
  • 출신전공화학공학
  • 학위박사
  • 최종출신대학포항공과대학교
  • 이메일

연구분야

반도체/디스플레이 공정 및 측정기술

Semiconductor/display process diagnotics

대표연구실적

-  반도체, OLED 증착소재 -  반도체/디스플레이 장비 플라즈마내식 코팅소재(아노다이징, 세라믹 등) -  플라즈마 장비기술

논문(최근 5년)

-  MOCVD of C-oriented Bi2Te3 Films on SiO2 Substrates using Triethyl Bismuth and Di-tertiarybutyl[CHEMICAL VAPOR DEPOSITION,2013-03-01] -  Nanoporous SiCOH/CxHy dual phase films with an ultralow dielectric constant and a high Young's modulus[Journal of Materials Chemistry C,2013-03-21] -  A parallel algorithm for robust fault detection in semiconductor manufacturing processes[CLUSTER COMPUT,2014-03-28] -  Plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon dioxide films using plasma-activated triisopropylsilane as a precursor[J. VAC. SCI. TECH. A,2014-08-05] -  Phase transition characteristics under vacuum of 910-di(2-naphthyl)anthracene for organic light-emitting diodes[J. VA. SCI. TECHNOL. A,2013-10-18] -  Influence Characteristics of Al2O3 Oxide Films Grown by Using Plasma Electrolytic Oxidation with Electrolyte Containing Si and P[NEW PHYSICS,2013-11-01] -  초음파를 이용한 광학창 오염방지 모듈 개발[진공학회지,2013-07-01] -  Effect of sealing time of anodic aluminum oxide (AAO) film for preventing plasma damage[Science of Advanced Materials,2014-12-01] -  Preparation and In vivo Evaluation of Photo-Cured O-Carboxymethyl Chitosan Micro-Particle for Controlled Drug Delivery[Macromolecular Research,2014-02-15] -  The Study on the Precursor Adsorption using in-situ Nanoparticle-assisted Attenuated Total Reflectance Infrared Spectroscopy[한국진공학회지,2015-07-24] -  Plasma Corrosion in Oxalic Acid Anodized Coatings Depending Tartaric Acid Content[한국진공학회지,2016-01-25] -  Development of particle characteristics diagnosis system for nanoparticle analysis in vacuum[ REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,2016-02-01] -  The Effects of Thermal Decomposition of Tetrakis-ethylmethylaminohafnium (TEMAHf) Precursors on HfO2 Film Growth using Atomic Layer Deposition[한국진공학회지,2016-05-17] -  Phase behaviors of NPB molecule under vacuum[ MATERIALS RESEARCH BULLETIN,2016-02-02] -  Microstructural Evolution of Cu Thin Film on the Nano-Thin TaN x /Oxygen Stuffed TaN x Structure[ JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY,2016-10-01] -  Iron oxide grown by low-temperature atomic layer deposition[The Korean Journal of Chemical Engineering,2016-10-12] -  Performance of inverted polymer solar cells with randomly oriented ZnO nanorods coupled with atomic layer deposited ZnO[ APPLIED SURFACE SCIENCE,2016-12-05] -  ZrO2 film prepared by atomic layer deposition using viscous cocktail CpZr[N(CH3)2]3/C7H8 precursor and ozone[ JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS,2017-01-01] -  Oxidant effect of La(NO3)3·6H2O solution of the crystalline characteristics of nanocrystalline ZrO2 films grown by atomic layer deposition[ APPLIED SURFACE SCIENCE,2016-10-19] -  Enhancement of the crystallinity of barium titanate by using a uniform barium-carbonate surface coating[Journal of the Korean Physical Society,2017-04-07] -  Efficiency Enhancement of Fluorescence Blue Organic Light-Emitting Diodes by Incorporating Ag Nanoparticles Layers due to a Localized Surface Plasmon[Journal of the Korean Physical Society,2017-07-03]

특허(최근 5년)

-  처짐 감지 장치[2013-03-06] -  배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치[2013-07-09] -  실리콘 화합물 박막의 형성방법[2013-08-20] -  전구체의 증기압 측정장치 및 방법[2013-10-24] -  플라즈마 전해 산화법과 초음파를 이용한 산화피막 형성장치[2013-12-04] -  고온 보관 장치[2014-05-16] -  분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치[2014-05-23] -  전구체 샘플링 장치 및 이를 이용한 전구체 샘플 분석방법[2014-06-25] -  유량조절장치 및 이를 이용한 입자 복합특성 측정장치[2014-09-12] -  표면오염방지부를 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치[2013-07-01] -  최적유량조절을 위한 입자 복합특성 측정장치 배기 시스템[2014-03-20] -  입자 분포 측정 및 교정용 모듈을 가지는 입자 복합특성 측정장치[2014-03-20] -  화학증착소재 실시간 진단장치[2015-01-08] -  반도체 코팅설비의 오염 진단장치 및 진단방법[2015-07-03] -  고온 보관 장치[2016-07-21]