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윤주영 교수

Yun Ju Young

INFO

  • 소속캠퍼스한국표준과학연구원
  • 연락처042-868-5624
  • 출신전공화학공학
  • 학위박사
  • 최종출신대학포항공과대학교
  • 이메일

연구분야

반도체/디스플레이 공정 및 측정기술

Semiconductor/display process diagnotics

대표연구실적

-  반도체, OLED 증착소재 -  반도체/디스플레이 장비 플라즈마내식 코팅소재(아노다이징, 세라믹 등) -  플라즈마 장비기술

논문(최근 5년)

-  MOCVD of C-oriented Bi2Te3 Films on SiO2 Substrates using Triethyl Bismuth and Di-tertiarybutyl[CHEMICAL VAPOR DEPOSITION,2013-03-01] -  Quadrupole Mass Spectrometer 평가 시스템[새물리,2012-10-26] -  Nanoporous SiCOH/CxHy dual phase films with an ultralow dielectric constant and a high Young's modulus[Journal of Materials Chemistry C,2013-03-21] -  A parallel algorithm for robust fault detection in semiconductor manufacturing processes[CLUSTER COMPUT,2014-01-31] -  Plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon dioxide films using plasma-activated triisopropylsilane as a precursor[J. VAC. SCI. TECH. A,2014-08-05] -  Phase transition characteristics under vacuum of 910-di(2-naphthyl)anthracene for organic light-emitting diodes[J. VA. SCI. TECHNOL. A,2014-06-02] -  Influence Characteristics of Al2O3 Oxide Films Grown by Using Plasma Electrolytic Oxidation with Electrolyte Containing Si and P[NEW PHYSICS,2013-11-01] -  초음파를 이용한 광학창 오염방지 모듈 개발[진공학회지,2013-07-01] -  Effect of sealing time of anodic aluminum oxide (AAO) film for preventing plasma damage[Science of Advanced Materials,2014-12-01]

특허(최근 5년)

-  처짐 감지 장치[2013-03-06] -  배플을 포함하는 진공 공정에서 발생하는 입자 및 부산물 분석장치[2013-07-09] -  실리콘 화합물 박막의 형성방법[2013-08-20] -  전구체의 증기압 측정장치 및 방법[2013-10-24] -  플라즈마 전해 산화법과 초음파를 이용한 산화피막 형성장치[2013-12-04] -  고온 보관 장치[2014-05-16] -  분리형 입자 집속 유닛을 가지는 입자복합특성 측정장치[2014-05-23] -  전구체 샘플링 장치 및 이를 이용한 전구체 샘플 분석방법[2014-06-25] -  유량조절장치 및 이를 이용한 입자 복합특성 측정장치[2014-09-12]