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김진태 교수

Jin-Tae Kim

INFO

  • 소속캠퍼스한국표준과학연구원
  • 연락처042-868-5415
  • 출신전공물리학
  • 학위박사
  • 최종출신대학Ohio State University
  • 이메일

연구분야

반도체/디스플레이의 진공공정 평가

Evaluation of vacuum process for semiconductor/display

대표연구실적

-  Jin-Tae Kim et al./Effect of Sealing Time of Anodic Aluminum Oxide (AAO) Film for Preventing Plasma Damage/Sci Adv Mat/2015.1.15 -  Jin-Tae Kim et al./Phase transition characteristics under vacuum of 9,10-di(2-naphthyl)anthracene for organic light-emitting diodes/J. Vac. Sci. Technol/2014.3. -  K. Jousten, Jin-Tae Kim/The work of ISO TC 112 towards standardization for specification and calibration of quadrupole mass spectrometers/Vacuum/2014.3.1

논문(최근 5년)

-  Evaluation System for a Quadrupole Mass Spectrometer[Sae Mulli,2012-10-26] -  Influence Characteristics of Al2O3 Oxide Films Grown by Using Plasma Electrolytic Oxidation with Electrolyte Containing Si and P[Sae Mulli,2013-11-12] -  Phase transition characteristics under vacuum of 910-di(2-naphthyl)anthracene for organic light-emitting diodes[Journal of Vacuum Science & Technology A,2014-03-01] -  The work of ISO TC 112 towards standardization for specification and calibration of quadrupole mass spectrometers[Vacuum,2014-03-01] -  Effect of Sealing Time of Anodic Aluminum Oxide (AAO) Film for Preventing Plasma Damage[Science of Advanced Materials,2015-01-15]

특허(최근 5년)

-  처짐 감지 장치[2013-03-06] -  전구체의 증기압 측정장치 및 방법[2013-10-24] -  플라즈마 전해 산화법과 초음파를 이용한 산화피막 형성장치[2013-12-04] -  고온 보관 장치[2014-05-16] -  전구체 샘플링 장치 및 이를 이용한 전구체 샘플 분석방법[2014-06-25]