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전정우 교수

Jeon Jeong Woo

INFO

  • 소속캠퍼스한국전기연구원
  • 연락처055-351-3871
  • 출신전공전기공학과
  • 학위박사
  • 최종출신대학부산대학교
  • 이메일

연구분야

자기부상 스테이지 및 나노급 위치 제어

Magnetic Levitation Stage and Nano-meter positioning control

대표연구실적

-  전정우 외 5명/Novel cylindrical magnetic levitation stage for rotation as well as translation along Axles with High precisions/Transaction of the Korean Institute of Electrical Engineers/2012 -  전정우 외 3명/Experiments of a novel magnetic levitation stage for wide area movements/Journal of Electrical Engineering and Technology/2012 -  전정우 외 6명/원통형 자기부상 스테이지 및 노광장치/10-1117199/2012년2월9일

논문(최근 5년)

-  Novel cylindrical magnetic levitation stage for rotation as well as translation along Axles with High precisions[2012-12-01] -  A Double-bent Planar Leaf Flexure Guide for a Nano-scanner: Experimental Report[2014-12-01]

특허(최근 5년)

-  CYLINDRICAL MAGNETIC LEVITATION STAGE[2013-01-15] -  나노 패턴이 형성된 내지문 필름 제조 방법[2013-03-07] -  원통형 자기부상 스테이지[2013-05-08] -  Method and Chamber for Inductively Coupled Plasma Processing for Cylinderical Material with Three Dimensional Surface[2013-11-26] -  원통형 자기부상 스테이지[2013-12-13] -  플라즈마 잠입이온을 이용한 가공 및 표면처리[2014-01-10] -  나노-마이크로 복합 패턴 형성을 위한 몰드의 제조 방법[2014-04-10] -  원통형 자기부상 스테이지 및 노광장치[2014-05-09] -  플라즈마 잠입 이온을 이용한 나노패턴 가공 장치 및 방법[2014-06-17] -  와이어 그리드 편광자의 제조 장치 및 방법[2014-07-02] -  미세 패턴 형성용 고분자 몰드의 제조 방법 이에 의해 제조되는 미세 패턴 형성용 고분자 몰드 및 이를 이용한 미세 패턴 형성 방법[2014-07-02] -  미세 패턴을 갖는 제품의 제조 방법 및 이에 의해 제조되는 제품[2014-07-02]