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이재종 교수

Jae Jong Lee

INFO

  • 소속캠퍼스한국기계연구원
  • 직급캠퍼스대표교수
  • 연락처042-868-7145
  • 출신전공기계공학
  • 학위박사
  • 최종출신대학한국과학기술원
  • 이메일

논문(최근 5년)

-  Nanoimprint lithography with a soft roller and focused UV light for flexible substrates[Microelectronic Engineering,2012-10-01] -  3D nanomolding for lab-on-a-chip applications[Lab on a chip,2012-10-24] -  Fabrication of an adhesion-free transparent roll stamp for large area patterning using ultraviolet-type roller nanoimprint lithography[Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures ,2012-11-09] -  Improvement of the efficiency of Si solar cells using nano-microscale combination patterns[Journal of Nanoscience and Nanotechnology,2013-10-01] -  Complex object wave direct extraction method in off-axis digital holography[Optics Express ,2013-02-11] -  A New mold structure to replicate patterns over 1um in depth for substrate conformal imprint lithography[Journal of Nanoscience and Nanotechnology,2013-06-06] -  Ultrafast and low temperature laser annealing for crystalline TiO2 nanostructures patterned by electro-hydrodynamic lithography[Applied Physics Letters,2013-08-01] -  Nanoimprint lithography with a focused laser beam for the fabrication of nanopatterned microchannel molds[Lab on a Chip,2013-08-21]

특허(최근 5년)

-  롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법[2013-08-28] -  임프린트 리소그래피용 스탬프 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 복제스탬프[2013-10-22] -  롤스탬프 제조장치, 이를 이용한 롤스탬프 제조방법 및 복제스탬프 제조방법[2013-11-18] -  나노임프린트 장치 및 이를 이용한 나노임프린트 방법[2013-08-20] -  복수 개의 측면을 갖는 스탬프 장치 및 상기 스탬프 장치의 제작 방법[2012-12-17] -  기판용 온도조절 플레이트[2012-12-28] -  회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치[2013-02-23] -  롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법[2012-11-07] -  버퍼모듈을 갖는 차분력 구동형 고강성 스테이지[2012-10-05] -  탄성힌지 기반 중공형 회전 안내기구[2012-11-27] -  균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법[2013-04-19] -  초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치 및 그 방법[2013-11-18] -  나노임프린트리소그래피용 스탬프 제조방법[2013-11-19] -  예압 인가에 따른 미소 변형을 보상 가능한 변위 확대 기구[2013-01-08] -  다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지[2013-02-06] -  차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지[2013-08-22] -  이중 스탬프에 의한 롤 임프린트 장치[2013-02-28] -  간섭 리소그래피 장치[2013-01-16]