본문 바로가기 대메뉴 바로가기
최기봉 교수

Choi, Kee-Bong

INFO

  • 소속캠퍼스한국기계연구원
  • 전공 나노메카트로닉스
  • 연락처042-868-7132
  • 출신전공기계공학
  • 학위박사
  • 최종출신대학한국과학기술원
  • 이메일

연구분야

압전 구동 메커니즘의 설계 및 제어

Design and control of piezo-driven mechanisms

대표연구실적

-  K-B Choi/ XY parallel compliant stage with compact configuration/ J. of Nanoscience and Nanotechnology/ 2012 -  K-B Choi/ A piezo-driven compliant stage with double mechanical amplification mechanisms arranged in parallel/ 2010 -  최기봉 외3/ 다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지/ 10-1232686/ 2013.02.06

논문(최근 5년)

-  A New Mold Structure to Replicate Patterns Over 1 um in Depth for Substrate Conformal Imprint Lithography[ JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY,2013-06-06] -  Nanoimprint lithography with a focused laser beam for the fabrication of nanopatterned microchannel molds[LAB ON A CHIP,2013-08-21] -  Design of the KRISS watt balance[ METROLOGIA,2014-04-01] -  Fabrication of hybrid structures using UV roll-typed liquid transfer imprint lithography for large areas[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2014-09-05] -  Roll-to-roll nanoimprint lithography for patterning on a large-area substrate roll[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2014-07-01] -  A flexure-based scanner for a fully bidirectional operation driven by a differential piezo force [ PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART C-JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING SCIENCE,2014-12-14] -  Improving the surface charge density of a contact-separation-based triboelectric nanogenerator by modifying the surface morphology[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2016-06-15] -  Functionalization of Microchannels with Micromixers by Patterning with a Focused Laser Beam [JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY,2016-11-01] -  롤기반 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술[한국기계가공학회지,2013-10-31] -  2개의 병진-병진 관절형 병렬 탄성 메커니즘을 갖는 압전구동 소형 XY 스테이지[한국정밀공학회지,2013-12-02] -  2배수 피치비를 갖는 이중격자 측정법을 이용한 축방향 롤 회전 오차 측정[한국정밀공학회지,2013-12-02] -  마이크로 렌즈 디스크와 핀홀 디스크를 이용한 고속 공초점용 닙코 디스크 개발[한국생산제조시스템학회지,2014-12-22]

특허(최근 5년)

-  탄성힌지 기반 중공형 회전 안내기구[2012-11-27] -  예압 인가에 따른 미소 변형을 보상 가능한 변위 확대 기구[2013-01-08] -  간섭 리소그래피 장치[2013-01-16] -  다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지[2013-02-06] -  회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치[2013-02-23] -  이중스탬프에 의한 롤 임프린트 장치[2013-02-28] -  균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법[2013-04-19] -  나노임프린트 장치 및 이를 이용한 나노임프린트 방법[2013-08-20] -  차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지[2013-08-22] -  롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법[2013-08-28] -  임프린트 리소그래피용 스탬프 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 복제스탬프[2013-10-22] -  초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치 및 그 방법[2013-11-18] -  임프린트 리소그래피용 스탬프 및 제작방법[2013-11-19] -  롤스탬프 제조장치, 이를 이용한 롤스탬프 제조방법 및 복제스탬프 제조방법[2013-11-18] -  간섭 리소그래피 장치[2014-01-09] -  나노임프린트 리소그래피 방법[2014-07-16] -  롤스탬프 제조방법[2014-08-29] -  단일체로 가공된 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지 및 이의 제작방법[2014-09-16] -  마이크로 힘 발생 및 측정장치 및 그 방법[2014-10-06] -  정렬 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법[2014-12-03] -  닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법[2014-12-04] -  롤 임프린트 리소그래피 장치 및 그 제어방법[2015-01-20] -  롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법[2015-01-22] -  선택적 박리 및 전사 장치 및 방법[2015-01-22] -  모듈형 광학 장치[2015-06-29] -  SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법[2015-09-03] -  광학식 선택적 전사 장치 및 방법[2016-03-16] -  단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지[2016-03-17] -  3차원 형상 계측용 구조광의 국소 영역별 패턴 광원 조사 시스템 및 방법[2016-05-19] -  유연필름의 사행 산출 장치 및 산출 방법[2016-06-23] -  압전구동 메커니즘 및 이를 포함하는 고하중용 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지[2016-08-17] -  리소그래피용 광학계 장치[2016-09-13] -  삼차원 물체 제조용 차폐챔버[2016-11-02] -  마이크로 렌즈를 이용한 레이저 직접 묘화 장치[2016-12-15] -  3차원 스캐닝을 위한 이동 단말기용 프로젝터 모듈[2017-01-16] -  고하중용 탄성힌지기반 수직평면 미세구동 스테이지[2017-02-03] -  삼차원 물체 제조용 와이어 공급장치[2017-02-28] -  진동자를 이용한 와이어 공급장치[2017-02-28] -  롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법[2017-03-24] -  Apparatus and Method for Liquid Transfer Imprint Lithography using a Roll Stamp[2016-12-27]