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김기홍 교수

Geehong Kim

INFO

  • 소속캠퍼스한국기계연구원
  • 연락처042-868-7076
  • 출신전공기계공학과
  • 학위박사
  • 최종출신대학한국과학기술원
  • 이메일

연구분야

광간섭을 이용한 리소그래피 패터닝, 나노 임프린팅, 광학식 측정

Interference Lithography, Nano Imprinting, Optical Measurement

대표연구실적

-  geehong kim, journal of nanoscience and nanotechnology, pattern uniformity in large-area ultraviolet nano-imprinting by a cylindrically inflated flexible mold under low pressure, 2012 -  Geehong Kim외,Improvement of transmittance by fabricating broadband subwavelength anti-reflection structures for polycarbonate, JNN, 2011 -  Eliminating the undercut phenomenon in interference lithography for the fabrication of nano-imprint lithography stamp, Current Applied Physics, 2010

논문(최근 5년)

-  A New mold structure to replicate patterns over 1um in depth for substrate conformal imprint lithography[Journal of Nanoscience and Nanotechnology,2013-06-06] -  2배수 피치비를 갖는 이중 격자 측정법을 이용한 축방향 롤 회전 오차 측정[한국정밀공학회,2013-12-02] -  Improving the surface charge density of a contact-separation-based triboelectric nanogenerator by modifying the surface morphology[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2016-06-15] -  Functionalization of Microchannels with Micromixers by patterning with a focused laser beam[ JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY,2016-11-01] -  마이크로렌즈디스크와 핀홀 디스크를 이용한 고속 공초점용 닙코디스크 개발[한국생산제조시스템학회지,2014-12-22] -  A flexible-based scanner for a fully bidirectioal operation driven by a differential piezo force[ PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART C-JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING SCIENCE,2014-12-14] -  Fabrication of hybrid structures using UV roll-typed liquid transfer imprint lithography for large areas[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2014-09-05] -  Roll-to-Roll nanoimprint lithography for patterning on a large-area substrate roll[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2014-07-01]

특허(최근 5년)

-  롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법[2017-03-24] -  고하중용 탄성힌지기반 수직평면 미세구동 스테이지[2017-02-03] -  롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법[2016-12-27] -  단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지[2016-03-17] -  유연필름의 사행 산출 장치 및 산출 방법[2016-06-23] -  광학식 선택적 전사 장치 및 방법[2016-03-16] -  리소그래피용 광학계 장치[2016-09-13] -  압전구동 메커니증 및 이를 포함하는 고하중용 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지[2016-08-17] -  마이크로 렌즈를 이용한 레이저 직접 묘화 장치[2016-12-15] -  SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법[2015-09-03] -  롤 임프린트 리소그래피 장치 및 그 제어방법[2015-01-20] -  모듈형 광학 장치[2015-06-29] -  선택적 박리 및 전사 장치 및 방법[2015-01-22] -  롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법[2015-01-22]