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임형준 교수

HyungJun Lim

INFO

  • 소속캠퍼스한국기계연구원
  • 전공 나노메카트로닉스
  • 연락처042-868-7072
  • 출신전공기계공학과
  • 학위박사
  • 최종출신대학한국과학기술원
  • 이메일

연구분야

나노임프린트 리소그래피, 광학 기반 리소그래피 시스템 설계, 제작 및 공정 응용.

Design, Implementation, and Application of the Mechanical System for Nanoimprint Lithography and Optical Lithography

대표연구실적

-  Hyungjun Lim/Functionalization of Microchannels with Micromixers by Patterning with a Focused Laser Beam/J.Nanosci.Nanotechnol./2016-11-01 -  Hyungjun Lim/Nanoimprint lithography with a focused laser beam for the fabrication of nanopatterned microchannel molds/Lab on a Chip/2013-08-21 -  임형준/리소그래피용 광학계 장치/10-1658985/2016-09-13

논문(최근 5년)

-  2 개의 병진-병진 관절형 병렬 탄성 메커니즘을 갖는 압전구동 소형 XY 스테이지[한국정밀공학회지,2013-12-02] -  2 배수 피치비를 갖는 이중 격자 측정법을 이용한 축방향 롤 회전 오차 측정[한국정밀공학회지,2013-12-02] -  A New Mold Structure to Replicate Patterns Over 1 um in Depth for Substrate Conformal Imprint Lithography[J.Nanosci.Nanotechnol.,2013-06-06] -  Fabrication of Nanometer Electrodes by Electro Migration on an Embedded Metal Pattern[J.Nanosci.Nanotechnol.,2014-12-01] -  Fabrication of hybrid structures using UV roll-typed liquid transfer imprint lithography for large areas[Microelectron.Eng.,2014-09-05] -  Nanoimprint lithography with a focused laser beam for the fabrication of nanopatterned microchannel molds[LabChip,2013-08-21] -  Polymer filling behaviors with various levels of imprinting velocity in nanoimprint lithography[Microelectron.Eng.,2014-04-01] -  Roll-to-roll nanoimprint lithography for patterning on a large-area substrate roll[Microelectron.Eng.,2014-07-01] -  Study of air bubble generation and its minimization during dispensing based ultraviolet nanoimprint lithography (UV-NIL)[Microelectron.Eng.,2014-07-01] -  롤 기반 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술[한국기계가공학회지,2013-10-31] -  A Flexure-based scanner for a fully bidirectional operation driven by a differential piezo force[ PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART C-JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING SCIENCE,2014-12-14] -  마이크로 렌즈 디스크와 핀홀 디스크를 이용한 고속 공초점용 닙코 디스크 개발[한국생산제조시스템학회지,2014-12-22] -  Polymer filling ratio with various pressure variation rates in nanoimprint lithography[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2015-01-05] -  Polymer filling behaviors and imprinting velocities with pressure variation rates in nanoimprint lithography[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2015-06-22] -  Improving the surface charge density of a contact-separation-based triboelectric nanogenerator by modifying the surface morphology[ MICROELECTRONIC ENGINEERING,2016-06-15] -  Functionalization of Microchannels with Micromixers by Patterning with a Focused Laser Beam[ JOURNAL OF NANOSCIENCE AND NANOTECHNOLOGY,2016-11-01]

특허(최근 5년)

-  간섭 리소그래피 장치[2014-01-09] -  기판용 온도조절 플레이트[2012-12-28] -  나노임프린트 리소그래피 방법[2014-07-16] -  나노임프린트리소그래피용 스탬프 제조방법[2013-11-19] -  롤스탬프 제조방법[2014-08-29] -  롤스탬프 제조장치, 이를 이용한 롤스탬프 제조방법 및 복제스탬프 제조방법[2013-11-18] -  롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법[2017-03-24] -  롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법[2013-08-28] -  복수 개의 측면을 갖는 스탬프 장치 및 상기 스탬프 장치의 제작 방법[2012-12-17] -  임프린트 리소그래피용 스탬프 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 복제스탬프[2013-10-22] -  회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치[2013-02-23] -  탄성힌지 기반 중공형 회전 안내기구[2012-11-27] -  예압 인가에 따른 미소 변형을 보상 가능한 변위 확대 기구[2013-01-08] -  다층 구조의 탄성힌지 기반 압전구동 스테이지[2013-02-06] -  균일 두께의 중간층을 가지는 레플리카 스탬프 제조 방법[2013-04-19] -  나노임프린트 장치 및 이를 이용한 나노임프린트 방법[2013-08-20] -  차분력에 의한 3축 평면운동용 압전구동 스테이지[2013-08-22] -  초정밀 갭 센서의 초기위치 조정장치 및 그 방법[2013-11-18] -  단일체로 가공된 탄성 힌지 기반의 압전구동 스테이지 및 이의 제작방법[2014-09-16] -  마이크로 힘 발생 및 측정장치 및 그 방법[2014-10-06] -  자가 정렬 임프린트 리소그래피 장치 및 이를 이용한 임프린트 리소그래피 방법[2014-12-03] -  닙코우 디스크의 핀홀 배치 방법[2014-12-04] -  롤 임프린트 리소그래피 장치 및 그 제어방법[2015-01-20] -  롤 표면 직선 패턴의 진직도 측정장치 및 이를 이용한 측정방법[2015-01-22] -  선택적 박리 및 전사 장치 및 방법[2015-01-22] -  모듈형 광학 장치[2015-06-29] -  SCIL 공정용 레플리카 스탬프 및 이의 제조방법[2015-09-03] -  광학식 선택적 전사 장치 및 방법[2016-03-16] -  단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지[2016-03-17] -  유연필름의 사행 산출 장치 및 산출 방법[2016-06-23] -  압전구동 메커니즘 및 이를 포함하는 고하중용 3축 미세 수직평면운동 압전구동 스테이지[2016-08-17] -  리소그래피용 광학계 장치[2016-09-13] -  마이크로 렌즈를 이용한 레이저 직접 묘화 장치[2016-12-15] -  롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법[2016-12-27] -  고하중용 탄성힌지기반 수직평면 미세구동 스테이지[2017-02-03]