본문 바로가기 대메뉴 바로가기
임형준 교수

HyungJun Lim

INFO

  • 소속캠퍼스한국기계연구원
  • 연락처042-868-7072
  • 출신전공기계공학과
  • 학위박사
  • 최종출신대학한국과학기술원
  • 이메일

연구분야

나노임프린트 리소그래피, 광학 기반 리소그래피 시스템 설계, 제작 및 공정 응용.

Design, Implementation, and Application of the Mechanical System for Nanoimprint Lithography and Optical Lithography

대표연구실적

-  Hyungjun Lim/Roll-to-roll nanoimprint lithography for patterning on a large-area substrate roll/Microelectric Engineering/2014-07-01 -  Hyungjun Lim/Nanoimprint lithography with a focused laser beam for the fabrication of nanopatterned microchannel molds/Lab on a Chip/2013-08-21 -  임형준/나노임프린트 리소그래피 방법/10-1422112/2014-07-16

논문(최근 5년)

-  2 개의 병진-병진 관절형 병렬 탄성 메커니즘을 갖는 압전구동 소형 XY 스테이지[한국정밀공학회지,2013-12-02] -  2 배수 피치비를 갖는 이중 격자 측정법을 이용한 축방향 롤 회전 오차 측정[한국정밀공학회지,2013-12-02] -  A New Mold Structure to Replicate Patterns Over 1 um in Depth for Substrate Conformal Imprint Lithography[J.Nanosci.Nanotechnol.,2013-06-06] -  Fabrication of Nanometer Electrodes by Electro Migration on an Embedded Metal Pattern[J.Nanosci.Nanotechnol.,2014-12-01] -  Fabrication of an adhesion-free transparent roll stamp for large area patterning using ultraviolet-type roller nanoimprint lithography[J.Vac.Sci.Technol.B,2012-11-09] -  Fabrication of hybrid structures using UV roll-typed liquid transfer imprint lithography for large areas[Microelectron.Eng.,2014-09-05] -  Nanoimprint lithography with a focused laser beam for the fabrication of nanopatterned microchannel molds[LabChip,2013-08-21] -  Nanoimprint lithography with a soft roller and focused UV light for flexible substrates[Microelectron.Eng.,2012-10-01] -  Polymer filling behaviors with various levels of imprinting velocity in nanoimprint lithography[Microelectron.Eng.,2014-04-01] -  Roll-to-roll nanoimprint lithography for patterning on a large-area substrate roll[Microelectron.Eng.,2014-07-01] -  Study of air bubble generation and its minimization during dispensing based ultraviolet nanoimprint lithography (UV-NIL)[Microelectron.Eng.,2014-07-01] -  롤 기반 나노임프린트 리소그래피 시스템 기술[한국기계가공학회지,2013-10-31]

특허(최근 5년)

-  간섭 리소그래피 장치[2013-01-16] -  간섭 리소그래피 장치[2014-01-09] -  기판용 온도조절 플레이트[2012-12-28] -  나노임프린트 리소그래피 방법[2014-07-16] -  나노임프린트리소그래피용 스탬프 제조방법[2013-11-19] -  롤스탬프 제조방법[2014-08-29] -  롤스탬프 제조장치 및 이를 이용한 롤스탬프 제조방법[2012-11-07] -  롤스탬프 제조장치, 이를 이용한 롤스탬프 제조방법 및 복제스탬프 제조방법[2013-11-18] -  롤스탬프를 이용한 용액전사방식의 임프린트 리소그래피 장치 및 방법[2013-08-28] -  복수 개의 측면을 갖는 스탬프 장치 및 상기 스탬프 장치의 제작 방법[2012-12-17] -  이중 스탬프에 의한 롤 임프린트 장치[2013-02-28] -  임프린트 리소그래피용 스탬프 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 복제스탬프[2013-10-22] -  회전 가능한 각형 롤 스탬프를 이용한 연속 나노 임프린트 장치[2013-02-23]