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진종한 교수

Jonghan Jin

INFO

  • 소속캠퍼스한국표준과학연구원
  • 전공 측정과학
  • 연락처042-868-5867
  • 출신전공기계공학
  • 학위박사
  • 최종출신대학한국과학기술원
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연구분야

차세대 반도체/디스플레이 공정에서의 고속 삼차원 형상 측정

High-speed 3D Profile Measurement on Semiconductor and Display Manufacturing Process

대표연구실적

-  A Hybrid Non-destructive Measuring Method of Three-dimensional Profile of Through Silicon Vias for Realization of Smart Devices, Scientific Reports 2018 -  Dimensional metrology using the optical comb of a mode-locked laser, Measurement Science and Technology, 2016 (Cover and Review Paper) -  Thickness and refractive index measurement of a silicon wafer based on an optical comb, Optics Express, 2010

논문(최근 5년)

-  Vibration-insensitive measurement of thickness variation of glass panels using double-slit interferometry[Optics Express,2014-03-12] -  Fizeau-type interferometric probe to measure geometrical thickness of silicon wafers[Optics Express,2014-09-18] -  Quadrature laser interferometer for in-line thickness measurement of glass panels using a current moulation technique[Applied Optics,2014-07-10] -  An optical straightness measurement sensor for the KRISS watt balance[Measurement,2015-02-02] -  Measurement of the loss factor and the Young's modulus in acryonitrile butadiene styren and polymethy methacrylate by using an acoustic wave generator[International Journal of Precision Engineering and Manufacturing,2014-12-01] -  Vibration-insensitive measurements of the thickness profile of large glass panels[ OPTICS EXPRESS,2015-12-14] -  Dimensional metrology using the optical comb of a mode-locked laser[Measurement Science and Technology,2016-02-01] -  Absolute angle measurement using a phase-encoded binary graduated disk[Measurement,2016-02-15] -  공기압력모델에 기반한 혈류 시뮬레이터의 동적 특성 평가[한국정밀공학회지,2016-06-01] -  Measurement of refractive index dispersion of a fused silica plate using Fabry-Perot interference[ APPLIED OPTICS,2016-08-10] -  Optical Fiber-Based Confocal and Interferometric System for Measuring the Depth and Diameter of Through Silicon Vias[ JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY,2016-12-01] -  Absolute distance measurement method without a non-measurable range and directional ambiguity based on the spectral-domain interferometer using the optical comb of the femtosecond pulse laser[ APPLIED PHYSICS LETTERS,2016-12-16] -  Construction of the prediction model between pressure and flow rate for pulsating flows based on the Greenfield-Fry model concerning wave dispersion[ EXPERIMENTS IN FLUIDS,2017-04-03] -  300 mm 실리콘 웨이퍼용 고속 관통전극 깊이 계측 장비 개발[한국정밀공학회지,2017-05-01] -  An interferometric system for measuring thickness of parallel glass plates without 2π ambiguity using phase analysis of quadrature Haidinger fringes[ REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,2017-05-01] -  Total physical thickness measurement of a multi-layered wafer using a spectral-domain interferometer with an optical comb[ OPTICS EXPRESS,2017-05-29] -  Wavelength measurement by Fourier analysis of interference fringes through a plane parallel plate[APPLIED OPTICS,2017-12-05] -  Note: An absolute X-Y-Θ position sensor using a two-dimensional phase-encoded binary scale[REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS,2018-04-12] -  A Hybrid Non-destructive Measuring Method of Three-dimensional Profile of Through Silicon Vias for Realization of Smart Devices[SCIENTIFIC REPORTS,2018-10-26] -  Physical thickness and group refractive index measurement of individual layers for double-stacked microstructures using spectral-domain interferometry[OPTICS COMMUNICATIONS,2018-09-20]

특허(최근 5년)

-  콤 생성 및 검출 장치를 이용한 실시간 분광형 간섭 측정 장치 및 측정 방법[2014-05-19] -  홀 형상 및 깊이 고속 측정 방법[2014-06-09] -  렌즈형 광섬유를 이용한 미세홀 깊이 측정 장치 및 방법[2014-04-24] -  거리 측정 장치 및 거리 측정 방법[2014-04-25] -  광섬유 페룰 공진기를 이용한 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법[2014-10-08] -  FBG를 이용한 스펙트럼 영역 간섭 장치 및 스펙트럼 영역 간섭 방법[2014-10-24] -  광섬유를 이용한 미세 패턴의 선폭 및 깊이 측정 장치 및 방법[2015-06-30] -  유체 렌즈를 이용한 다층 구조 측정 장치 및 그 측정 방법[2015-06-30] -  두께 측정 장치 및 두께 측정 방법[2015-08-10] -  기하학적 두께와 굴저률 측정을 위한 투과형 광섬유 간섭 장치[2015-08-10] -  두께 측정 장치[2015-09-14] -  기하학적 두께와 굴저률 측정을 위한 반사형 광섬유 간섭 장치[2015-10-30] -  대형 유리기판의 물리적 두께 프로파일 및 굴절률 분포 측정을 위한 광간섭계 시스템[2017-04-27]